Mass Spectrometer
제품정보
KOFLOC_MASS FLOW CONTROLLER
Model : 3660
GAS : AIR
Flow rate : 10SLM (20℃, 1atm)
- 가연성 가스 유량제어 가능(센서 발열부가 가스와 비접촉)
- 개량형 정전류 온도차 검출 방식의 유량 센서를 탑재해서 고속 응답을 실현
- 안전 방향 작동의 normally closed valve를 채용
- Solenoid actuator로 고신뢰성을 확보
- 가스 접촉부 - 내부식성이 강한 스테인레스 스틸 사용